🌿 洁净室和洁净区的检测——ISO 14644-1 空气洁净度分级之外的附加检测方法:压差(4.2.1/B.1)、气流和换气次数(4.2.2/B.2)、气流方向及可视化(4.2.3/B.3)、短时施加气溶胶后的自净时间(4.2.4/B.4)、温度(4.2.5/B.5)、湿度(4.2.6/B.6)、用粒子计数器或气溶胶光度计扫描检测已安装过滤器的泄漏(4.2.7/B.7)、围护结构泄漏(4.2.8/B.8)、静电和离子发生器检测(4.2.9/B.9)、粒子沉降(4.2.10/B.10)和隔离(4.2.11/B.11);检测项目由客户与供方商定,PN-EN ISO 14644-3

环境 PN-EN ISO 14644-3

三句话速览

洁净室——用于制药、医疗器械生产、微电子或食品工业——按空气中悬浮粒子浓度分级(ISO 14644-1)。该检测依据 PN-EN ISO 14644-3:2020-03;认可范围覆盖(读取于 03.10.2026):2 家实验室,数据库副本 15 条记录,PCA 15 行;“实验室”标签页(“PN-EN ISO 14644-3”)——生产服务器上两家均有。整个程序共 5 个步骤;主要用于:单向流和非单向流洁净室及洁净区的验收和定期检测(1)、制药、医疗器械、微电子、卫生保健和食品工业的设施(引言)、工作环境、空气过滤器、通风、洁净室和层流柜——PCA 中 2 家实验室认可范围内的 15 个项目。

要点速览

  • 标准: PN-EN ISO 14644-3:2020-03
  • 类别: 环境
  • 操作步骤数: 5
  • 现行状态(截至 03.10.2026): PN-EN ISO 14644-3:2020-03(英文版)——PKN 中无撤销标注;ISO 14644-3:2019——“Published”,阶段 90.60(iTeh)
  • 洁净度分级(4.1.1): 按 ISO 14644-1;其他属性按 ISO 14644-8、-9、-10、-12(表 1)
  • 附加检测(表 2): 11 项:4.2.1–4.2.11,程序见 B.1–B.11,仪器见 C.2–C.12

概述

本标准涵盖的内容。标准正文我们读的是两份 iTeh 样本。SIST EN ISO 14644-3:2020 样本(英文文本)包括欧洲前言、批准声明、ISO 前言、引言、第 1–2 章和第 3 章至定义 3.3.2。ISO 14644-3:2019 样本(法文文本,2020-06 更正版)另外包括全部定义(3.1–3.7)以及第 4 章至 4.2.11(含),至第 9 页。第 5 章(检测报告)以及附录 A(检测项目选择和核查表)、B(附加检测方法)和 C(检测仪器)我们未读——其标题来自目录。具体测量程序在附录 B 中。

根据 ISO 14644-3:2019 和 EN ISO 14644-3:2019 的文本。本标准由 ISO/TC 209“洁净室及相关受控环境”与 CEN/TC 243“洁净室技术”(秘书处 BSI)合作制定;各国标准最迟须在 2020 年 4 月采用;EN ISO 14644-3:2019 取代 EN ISO 14644-3:2005。第二版经技术修订替代 ISO 14644-3:2005:因附录 B.7(过滤器泄漏)过于复杂且有报告的错误,对其作了简化和更正;关于空气悬浮粒子洁净度分级的指南移至 ISO 14644-1;全文作了修订。2020-06 更正版更正了表 A.1、B.4.4、C.1、C.4.2 和 C.4.3 中的引用,修改了 B.2.1 a) 和表 B.2 的措辞,并删除原图 B.2。引言:洁净室服务于航空航天、微电子、制药、医疗器械、卫生保健和食品工业等领域;本标准描述测量洁净室、洁净区或受控环境(包括隔离装置、建筑结构、空气处理系统和公用设施)性能的方法;注:本标准不涵盖所有检测——空气悬浮粒子洁净度分级和大粒子见 ISO 14644-1,纳米级粒子监测见 ISO 14644-12,生物污染见 ISO 14698 系列,调试见 ISO 14644-4,隔离装置见 ISO 14644-7,空气化学洁净度见 ISO 14644-8,表面粒子洁净度见 ISO 14644-9,表面化学洁净度见 ISO 14644-10。范围(1):洁净室和洁净区性能的检测方法,以满足空气洁净度分级、其他洁净度属性及相关受控条件;针对两种气流——单向流和非单向流——以及三种占用状态:空态、静态和动态;有些检测有多种方法和仪器;标准外的替代方法可经客户与供方商定使用,但不一定得到等效结果;本标准不适用于洁净室中产品或工艺的测量;不涉及职业健康安全。无规范性引用文件(2)。定义(3):包括洁净区、设施、隔离装置(例如洁净空气罩、密闭罩、手套箱、隔离器、“mini-environnements”)、分辨力和灵敏度、悬浮粒子(1 nm 至 100 µm)、检测气溶胶、规定泄漏(用 LSAPC 粒子计数器或气溶胶光度计扫描过滤装置时可检出的最大透过率,由客户与供方商定)、末端过滤器、过滤器泄漏、扫描(探头以相互重叠的路径移动)、换气次数(单位时间送风量除以房间体积)、单向流和非单向流、速度均匀性、放电时间和感应电压、气溶胶发生器(粒子例如 0,05–2 µm)、气溶胶光度计(通过光散射测质量浓度)、可直接测量送风量的风量罩、LSAPC(要求见 ISO 21501-4)、见证板、三种占用状态。4.1 节:按空气粒子浓度分级用 ISO 14644-1;其他洁净度属性按表 1 选择(ISO 14644-8、-9、-10、-12);表 2 列出附加检测并给出原理(4.2)、程序(附录 B)和仪器(附录 C)的出处;这些检测可在三种状态中任一状态下进行,某一项目不一定都需要,检测项目由客户与供方商定,也可在常规监测中重复;选择指南和核查表见附录 A;附录 B 的方法只作概要描述。原理(4.2):4.2.1 压差——检查系统保持洁净室与周围环境之间规定压差的能力;应在送风速度或风量及均匀性达到要求后进行;4.2.2 气流——单向流测各点风速(由此得出均匀性、风量和换气次数),非单向流通常直接测送风量;4.2.3 气流方向及可视化——在静态下进行,可在动态下重复;4.2.4 自净检测——短时施加检测气溶胶后,洁净室能否在有限时间内恢复到规定洁净度等级;单向流不推荐;使用人工气溶胶时须考虑残留风险;4.2.5 和 4.2.6 温度和湿度(相对湿度或露点)——在客户规定期间内保持在控制限内;4.2.7 已安装过滤器泄漏——确认末端高效过滤器安装正确:无旁路,过滤器无缺陷(针孔、滤料、框架、密封垫损伤,过滤器组框架泄漏);不用于测定滤料效率;在过滤器上游施加气溶胶,在下游扫描或在下游风管中取样;4.2.8 围护结构泄漏——外部未过滤空气经接缝、连接处、门和吊顶进入;4.2.9 静电和离子发生器检测;4.2.10 粒子沉降——在约定时间内从空气沉降到表面的粒子数量和大小(可视为动态下的检测);4.2.11 隔离——特定气流的隔离效果:在较低等级区域发生粒子,测定受保护区域的浓度。

现行状态(截至 03.10.2026)。在 PKN 检索(关键词“14644-3”,03.10.2026)中 PN-EN ISO 14644-3:2020-03(英文版,“采用:EN ISO 14644-3:2019 [IDT],ISO 14644-3:2019 [IDT]”)无撤销标注;PN-EN ISO 14644-3:2006(英文版)标注“已撤销,由 PN-EN ISO 14644-3:2020-03 替代”。目录卡:发布日期 13.03.2020,66 页,KT 161 室内空气质量,ICS 13.040.35,“替代 PN-EN ISO 14644-3:2006(英文版)”。在 iTeh 目录中(读取于 03.10.2026)ISO 14644-3:2019 状态为“Published”,阶段 90.60(复审结束),发布于 30.08.2019;SIST EN ISO 14644-3:2020——“Published”,替代 SIST EN ISO 14644-3:2006。本标准没有波兰文版。

多少实验室、以何种形式(认可范围数据库副本,数据载入至 17.09.2026,读取于 03.10.2026)。编号 14644-3 出现在 2 家实验室的 15 条记录中:AB 243(8)、AB 752(7)。在现行 PCA 文件中(读取于 03.10.2026;AB 243 第 27 版,09.12.2025;AB 752 第 26 版,08.07.2026),该编号出现在同样 2 家实验室的 15 行中(8 和 7);每份文件的页码标记数等于 PDF 页数,无重复;检索 03.10.2026 从 BIP 下载的全部 PCA 文件,未发现数据库副本以外的实验室。写法为“PN-EN ISO 14644-3:2020-03 pkt. … i załącznik B.…”(AB 243)和“PN-EN ISO 14644-3:2020 pkt. … i załącznik B.…”(AB 752)——总是注明原理条款号和附录号;过滤器泄漏项与 PN-EN 1822-1:2019-05 第 5 和 6 条并列,AB 243 的洁净度和自净时间项与 PN-EN ISO 14644-1:2016-03 并列。这些项目均未暂停。“实验室”标签页(关键词“PN-EN ISO 14644-3”)显示两家实验室——已于 03.10.2026 在 labcoda.pl 生产服务器上用标签页查询核实。

实验室检测什么(PCA 中的项目)。检测对象:“工作环境——空气”“空气过滤器”“通风”“洁净室和层流柜”。AB 243:洁净度——粒径 0,1、0,2、0,3、0,5、1,0、5,0 µm 的粒子数,1 至 349 999 965 个/m³,用粒子计数器(4.2.10/B.10,并用 PN-EN ISO 14644-1);达到初始空气洁净度的时间(4.2.4/B.4);温度(+5…+42)°C;相对湿度(10–85)% RH;压差(−2500…+2500)Pa;滤料均匀性(泄漏检测)和过滤器安装密封性——用线性光度计(4.2.7/B.7);风速(0,2–40)m/s 和用于计算换气次数的风量(50–2000)m³/h,间接法和直接法(4.2.2/B.2);透过率——用线性光度计测粒子质量浓度(4.2.8/B.8)。AB 752:达到初始洁净度的时间(粒径 0,1、0,3、0,5、1,0、3,0、5,0 µm,(1–9 999 999)个/ft³ 或(35–349 999 965)个/m³,以分钟计时并用计数器测量);压差(−2500…+2500)Pa;温度(−40…+70)°C;相对湿度(0–90)%;透过率以及过滤器完整性和安装密封性——用粒子计数器(配 1:100 稀释器)和线性光度计;风速(0,2–40)m/s 和风量(50–2000)m³/h。AB 752 的空气洁净度分级单列一项,只依据 PN-EN ISO 14644-1:2016-03。

容易得到表面正确结果的环节。关于分级:空气悬浮粒子洁净度等级按 ISO 14644-1 确定(4.1.1),分级指南已从本标准移至 ISO 14644-1(前言);4.2.10 条和附录 B.10 涉及在约定时间内粒子沉降到表面,而非计数空气中的粒子——AB 243 将一个用粒子计数器测空气中粒子数的“洁净度”项目归到 4.2.10/B.10,并与 PN-EN ISO 14644-1 并列。关于自净时间:单向流不推荐做此检测,人工气溶胶可能留下残留(4.2.4)。关于过滤器:已安装过滤器泄漏检测不测定滤料效率(4.2.7);规定泄漏由客户与供方商定(3.3.2);2019 年版对程序 B.7 作了简化和更正(前言)——按旧作业指导书操作就是按另一份文本操作。关于顺序:只有在送风速度或风量及均匀性达到要求后才测压差(4.2.1)。关于占用状态:结果只有注明状态——空态、静态或动态——才有意义(1、3.7)。关于检测项目选择:并非所有检测都必需,由客户与供方商定;替代方法不一定得到等效结果(1、4.1.2)。关于 PCA 中的单位:两份 PCA 文件的文本层丢失了 µ 符号(以及 °C 的度符号),读作“(0,0003 - 100) g/l”,但在页面图像上(AB 243 第 2 页,AB 752 第 8 页)光度计质量浓度的单位是 µg/l;数据库副本中 AB 243 为 µg/l,AB 752 为“g/l”——这是副本的错误。

我们不提供的内容。附录 B 的测量程序(测点数量和位置、测量时间、气溶胶浓度、泄漏判据)、附录 C 的仪器要求、附录 A 的核查表以及检测报告内容(5)我们不引用——它们在样本之外。ISO 14644-1、ISO 14644-4、ISO 14644-7 和 PN-EN 1822-1 我们未读。我们不提供 GMP 对洁净区等级的要求。

方法原理

洁净室按空气悬浮粒子浓度分级(ISO 14644-1),其性能通过客户与供方选定的附加检测来检查:测量压差、气流和换气次数、气流方向、短时施加气溶胶后的自净时间、温度和湿度、已安装过滤器泄漏(上游施加气溶胶,下游用粒子计数器或气溶胶光度计扫描)、围护结构泄漏、静电、粒子沉降和隔离。检测在注明的占用状态下进行:空态、静态或动态。

应用领域

关键参数

参数数值
现行状态(截至 03.10.2026)PN-EN ISO 14644-3:2020-03(英文版)——PKN 中无撤销标注;ISO 14644-3:2019——“Published”,阶段 90.60(iTeh)
洁净度分级(4.1.1)按 ISO 14644-1;其他属性按 ISO 14644-8、-9、-10、-12(表 1)
附加检测(表 2)11 项:4.2.1–4.2.11,程序见 B.1–B.11,仪器见 C.2–C.12
占用状态(1、3.7)空态、静态、动态
过滤器泄漏(4.2.7、3.3.2)过滤器上游施加气溶胶,用 LSAPC 或光度计扫描;规定泄漏由客户与供方商定
自净时间(4.2.4)短时施加气溶胶后恢复到洁净度等级;单向流不推荐
认可范围覆盖(读取于 03.10.2026)2 家实验室,数据库副本 15 条记录,PCA 15 行;“实验室”标签页(“PN-EN ISO 14644-3”)——生产服务器上两家均有

标准

标准编号
PN-EN ISO 14644-3:2020-03
标准名称(波兰语)
Pomieszczenia czyste i związane z nimi środowiska kontrolowane — Część 3: Metody badań
标准名称(英语)
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods

分步操作程序

  1. 商定检测范围

    客户与供方商定检测项目、方法、占用状态和判据(例如规定泄漏);指南见附录 A(4.1.2)。PN-EN ISO 14644-3:2020-03 在 PKN 中无撤销标注(03.10.2026)。

  2. 洁净度分级

    按 ISO 14644-1 测空气中粒子浓度(4.1.1)。

  3. 气流和压力

    送风速度或风量及均匀性,然后测压差;气流方向(4.2.2、4.2.1、4.2.3;程序 B.1–B.3 在样本之外)。

  4. 过滤器和围护结构

    扫描已安装过滤器,围护结构泄漏(4.2.7、4.2.8;B.7、B.8 在样本之外)。

  5. 其他检测和报告

    自净时间、温度、湿度、静电、粒子沉降、隔离;报告注明占用状态(4.2.4–4.2.11;第 5 章在样本之外)。

所需设备与仪器

设备示例参考价格
光散射悬浮粒子计数器(LSAPC)粒子计数和粒径测定;要求见 ISO 21501-4(3.6.4)—
气溶胶光度计通过光散射测粒子质量浓度;过滤器扫描(3.6.2、4.2.7)—
气溶胶发生器和稀释器恒定浓度的粒子,例如 0,05–2 µm;用无粒子空气稀释(3.6.1、3.3.3)—
风量罩、风速仪直接测量送风量;各点风速测量(3.6.3、4.2.2)—
压差、温度和湿度测量仪检测 4.2.1、4.2.5、4.2.6——要求见附录 C(在样本之外)—

试剂、培养基与耗材

试剂CAS详情
检测气溶胶—粒径分布和浓度已知且受控的气体中固体或液体粒子(3.2.7);使用人工气溶胶时有残留风险(4.2.4)

职业健康与安全

常见问题

该检测依据哪项标准?

该检测依据的标准为 PN-EN ISO 14644-3:2020-03 — 《Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods》。

该方法的原理是什么?

洁净室按空气悬浮粒子浓度分级(ISO 14644-1),其性能通过客户与供方选定的附加检测来检查:测量压差、气流和换气次数、气流方向、短时施加气溶胶后的自净时间、温度和湿度、已安装过滤器泄漏(上游施加气溶胶,下游用粒子计数器或气溶胶光度计扫描)、围护结构泄漏、静电、粒子沉降和隔离。检测在注明的占用状态下进行:空态、静态或动态。

测量范围和准确度是多少?

现行状态(截至 03.10.2026):PN-EN ISO 14644-3:2020-03(英文版)——PKN 中无撤销标注;ISO 14644-3:2019——“Published”,阶段 90.60(iTeh);洁净度分级(4.1.1):按 ISO 14644-1;其他属性按 ISO 14644-8、-9、-10、-12(表 1);附加检测(表 2):11 项:4.2.1–4.2.11,程序见 B.1–B.11,仪器见 C.2–C.12;占用状态(1、3.7):空态、静态、动态。

完成检测需要多长时间?

整个程序共 5 个步骤。标准未对每个步骤给出时长——实际用时取决于实验室自身的操作程序。

需要哪些设备?

光散射悬浮粒子计数器(LSAPC)、气溶胶光度计、气溶胶发生器和稀释器、风量罩、风速仪、压差、温度和湿度测量仪。

该检测用于哪些场景?

单向流和非单向流洁净室及洁净区的验收和定期检测(1);制药、医疗器械、微电子、卫生保健和食品工业的设施(引言);工作环境、空气过滤器、通风、洁净室和层流柜——PCA 中 2 家实验室认可范围内的 15 个项目。

需要采取哪些安全防护措施?

本标准不涉及职业健康安全(1,注)——相关义务由使用者确定;检测气溶胶可能在房间内留下残留污染(4.2.4)。

哪家实验室可以开展此项检测?

该检测由通过 ISO/IEC 17025 认可的实验室开展。在 LabCoda 上可按标准编号检索 PN-EN ISO 14644-3。

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